德国osiris匀胶机：SPIN COATING

简要描述：德国osiris匀胶机：SPIN COATING，应用于匀胶工艺的设备，具有CCP(夹具密封工艺)的匀胶技术和可选的烘烤热板，适用于实验室开展科学研究、技术开发和企业小批量多品种生产。设备具有多选项（例如可编程滴胶臂）并且可以升级成自动化的系统达到更高的片到片工艺重复性。

产品分类

详细介绍

Osiris匀胶机

用于处理单晶圆的系统，具有用于半导体和微系统技术的定制基板加工选项。

旋涂机 - CCP

设计用于以下应用：

带盖卡盘处理器（CCP）的旋转涂层

1.UNIXX S760+

（21x21 英寸）独立系统

用于大型基材的旋涂机。

2.UNIXX SA30+

（Ø300毫米）独立系统

带盖卡盘旋涂机。（单底座）

3. UNIXX SHp22+

（直径200mm）独立系统

有盖卡盘旋涂机和加热板模块。

旋涂机 - 开式转鼓

设计用于以下应用：

带开口碗的旋转涂层，用于标准涂层。

1.UNIXX SA30

（Ø300毫米）独立系统

开式转鼓旋涂布机。（单底座）

2. UNIXX SHe22

（直径200mm）独立系统

开碗旋涂机和加热板模块。

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